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專注于半導(dǎo)體廢氣處理領(lǐng)域

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Thermal-Wet

電加熱水洗

產(chǎn)品介紹

Areas of application 適用領(lǐng)域

? 用水處理半導(dǎo)體及面板制成氣體

? 易燃?xì)怏w如(SIH4,B2H6等)


characteristic 特點(diǎn)

? 使用場(chǎng)景:半導(dǎo)體廠中CVD端、廠務(wù)端特氣房,處理含PFC氣體為主

? 處理能力:常態(tài)為500-1500slm

? 適用溫度:350-850度

? 缽米優(yōu)勢(shì):核心電加熱棒和陶瓷蓄熱材料為國(guó)產(chǎn)、自制,全部自主研發(fā)


Benefits 優(yōu)勢(shì)

? 該設(shè)備對(duì)于一些有毒氣體,特別是針對(duì)易燃?xì)怏w如SIH4,HCL 等,其處理效果極好

? 該設(shè)備裝有多重安全設(shè)施,可用于半導(dǎo)體行業(yè)各種工藝后尾氣處理

? 該設(shè)備出氣口前裝有氣水分離器,可以最大限度地減少水汽進(jìn)入排風(fēng)管

? 水循環(huán)系統(tǒng)被設(shè)置在機(jī)柜內(nèi)部,從而使設(shè)備占地最小化

? 該設(shè)備具有自清潔功能,可以防止反應(yīng)產(chǎn)物積聚在管道內(nèi)壁

? 加熱器供電系統(tǒng)的每一個(gè)相位都有傳感器,可以很方便地判斷加熱器故障情況

? 使用加熱控制控制加熱器電路,以最大限度延長(zhǎng)加熱器壽命



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