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產(chǎn)品中心水洗
Areas of application 適用領(lǐng)域
? 用水處理半導(dǎo)體及面板制成氣體
? 水溶性氣體(HCl, HF, NH3 等)
characteristic 特點(diǎn)
?使用場(chǎng)景:半導(dǎo)體廠中ETCH端、廠務(wù)端特氣房,EPI、MOCVD處理易溶于水氣體為主
?處理能力:常態(tài)為600-1000slm可加藥處理
?缽米產(chǎn)品特點(diǎn):通過結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),處理一些水溶性較強(qiáng)的氣體,或以水為介質(zhì),混合堿性溶劑處理酸性氣體,使用成本較低
Benefits 優(yōu)勢(shì)
? pH控制和延遲時(shí)間可調(diào)
? 電控功能(電,NaOH)氣體流量低時(shí)粉末可調(diào)節(jié)
? 易于維護(hù) (反應(yīng)器和濕室清潔:冷卻后30分鐘內(nèi))
? 自動(dòng)旁路備用系統(tǒng)可最大程度地減少主要工具的停機(jī)時(shí)間
? 快速的冷卻效果
? 所有的零件可以承受高壓力(閥件、管路等)
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