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PFCs

全氟化合物吸附劑

產(chǎn)品介紹

全氟化合物吸附劑


? 適用氣體類型：全氟化合物

? 目標(biāo)氣體：DCS,SiH4,WF6,HF,Cl2, SiCl4,ClF3,HBr,NF3, SF6等

? 吸收法：高溫化學(xué)反應(yīng)

? 規(guī)格：Φ4mm  & Φ6mm

? 密度：(0.8-1) :1



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